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產(chǎn)品描述

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ

帶有多多毛細(xì)孔X射線聚焦裝置的X射線熒

光測(cè)量?jī)x，用于測(cè)量非常小的組件和結(jié)構(gòu)

儀器介紹：

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ測(cè)量系統(tǒng)擁有先進(jìn)的多毛細(xì)孔
X射線聚焦裝置，既能有效地縮小測(cè)量點(diǎn)的面積，又能大幅
加強(qiáng)射線的強(qiáng)度。儀器配備了大面積硅漂移探測(cè)器，特別適
用于在小工件上測(cè)量非常薄鍍層的厚度或者進(jìn)行痕量分析。
為了使每次測(cè)量都能在*佳激勵(lì)條件下進(jìn)行，XDV-μ系統(tǒng)特意
配備了4個(gè)可切換的基本濾片。

XDV-μ測(cè)量空間寬大，樣品放置便捷，特別適合測(cè)量平面和
大型板材類(lèi)的樣品，還特意為面積超大的板材類(lèi)樣品（例如
大線路板）留有一個(gè)開(kāi)口（C型槽）。連續(xù)測(cè)試或鍍層厚度
和元素分布的測(cè)量都可以方便地用快速可編程XY工作臺(tái)完成。

操作很人性化，測(cè)量門(mén)帶有大觀察窗，并能大角度開(kāi)啟，儀器
前部控制面板具備多種功能，日常使用輕松便捷。帶有三種放
大倍率變焦的高像素視頻系統(tǒng)能精確地定位樣品，即使是非常
細(xì)的線材或者是半導(dǎo)體微小的接點(diǎn)都能高質(zhì)量地顯示出測(cè)量點(diǎn)
所在位置。激光點(diǎn)作為輔助定位裝置進(jìn)一步方便了樣品的快速
定位。良好的性能和測(cè)量很小樣品的專(zhuān)長(zhǎng)使得XDV-μ儀器成為
研究開(kāi)發(fā)、質(zhì)量認(rèn)證和實(shí)驗(yàn)室的理想選擇，同時(shí)也是質(zhì)量控制
和產(chǎn)品監(jiān)控必不可少的設(shè)備。

特征：

? 帶有鈹窗口和鎢鈀的微聚焦X射線管，可選鉬管。*高工作
條件：50kV，50W
? X射線探測(cè)器采用珀?duì)柼吕涞墓杵铺綔y(cè)器
? 多毛細(xì)孔X射線聚焦裝置，測(cè)量點(diǎn)約20-40μm FWHM
（半高寬）
? 4個(gè)可切換基本濾片
? 帶彈出功能的可編程XY平臺(tái)
? 視頻攝像頭可用來(lái)實(shí)時(shí)查看測(cè)量位置，十字線上有經(jīng)過(guò)校
準(zhǔn)的刻度標(biāo)尺，而測(cè)量點(diǎn)實(shí)際大小也在圖像中顯示。

應(yīng)用實(shí)例：

PCB領(lǐng)域的一個(gè)典型鍍層結(jié)構(gòu)是Au/Pd/Ni/Cu/PCB，而且
測(cè)量點(diǎn)的寬度通常都小于100 μm，Au層和Pd層的厚度都
在10到100 nm之間。使用半寬高為20μm的XDV-μ進(jìn)行測(cè)
量，Au層和Pd層的重復(fù)精度分別可達(dá)到~0.1 nm和~0.5
nm。